現(xiàn)代制造技術(shù)是 一個 發(fā)展經(jīng)濟的重要手段之一，而作為現(xiàn)代制造技術(shù)的一個重要分支，機械制造技術(shù)的與研究也受到經(jīng)濟發(fā)達 的高度重視。和超加工技術(shù)的發(fā)展和推廣，提高了整個機械制造業(yè)的加工精度和技術(shù)水平，并普遍提高了機械產(chǎn)品的質(zhì)量、性能和競爭力。超加工已達到了納米級，甚至是 亞納米級源子級)。制造技術(shù)在超零件加工、超異形零件加工、超光學(xué)零件加工、微機電系統(tǒng)器件加工等有廣泛應(yīng)用。
一、的研究進展
在加工開展較早，一些 有名的大工業(yè)集團已經(jīng)出商用的大行程運動平臺，例如德國PI公司、美國Newport公司、Motorola公司、羅克威爾等。這些商業(yè)化的運動平臺定位精度沒有達到較高的指標(biāo)，但是 已經(jīng)能夠比較穩(wěn)定的應(yīng)用于生產(chǎn)生活中。
的一些高校機構(gòu)也在此有明顯進展，Standford，UniversityOfWisconsinMadison，漢城 大學(xué)及我國國立臺灣大學(xué)都有明顯的成果。
1999年漢城 大學(xué)的Pahk為半導(dǎo)體制造設(shè)備研制了XVθ三維運動定位平臺，在200mm內(nèi)可以達到10nm的定位精度，該系統(tǒng)采用2級伺服方案，宏動運動平臺采用直線電機驅(qū)動，微動臺采用壓電陶瓷驅(qū)動，雙頻激光干涉儀作為位置反饋裝置。
國內(nèi)有許多單位在從事研究和生產(chǎn)超加工設(shè)備和儀器，如：北京機床研究所、清華大學(xué)、長沙科技大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、西安交通大學(xué)、長春光學(xué)機械與物理研究所等單位。但到目前為止，對納米級微進給平臺的研究工作大多局限于單坐標(biāo)驅(qū)動器驅(qū)動的方式。個別學(xué)者針對多坐標(biāo)驅(qū)動器微進給平臺進行了的探索，但還存在一些技術(shù)問題，因此無法滿足廣泛的實際工程需要。
如今 的微細(xì)電火花加工已步入工業(yè)應(yīng)用階段，微細(xì)電火花加工機床也應(yīng)運而生，日本松下精機、瑞士夏米爾、阿奇、美國麥威廉斯等公司都有較成熟的產(chǎn)品，其中日本松下精機的產(chǎn)品能加工5μm的微細(xì)孔，具有的代表性。
二、趨勢和展望
和超加工技術(shù)的發(fā)展和推廣，提高了整個機械制造業(yè)的加工精度和技術(shù)水平，并普遍提高了機械產(chǎn)品的質(zhì)量、性能和競爭力，進入到納米級和亞納米級加工精度是 必然的選擇。根據(jù)我國當(dāng)前的實際情況，參考 的發(fā)展趨勢，我國應(yīng)該大力開展加工技術(shù)的研究，其主要內(nèi)容包括以下方面。
1)超加工機床技術(shù)，建立探索建立具有系統(tǒng)聯(lián)動性強，響應(yīng)，可用于多種 微加工方法的、低速、多自由度的、具有納米精度的三維極微細(xì)加工系統(tǒng)。為運動精度，采用運動裝置的全閉環(huán)反饋。對誤差進行進一步的修正，并根據(jù)運動特點提出相應(yīng)誤差識 別的方案，提高運動定位精度。
2)超加工刀具及加工工藝、加工材料技術(shù)。
3)測量與控制及誤差補償技術(shù)；加工環(huán)境控制(包括恒溫、隔熱、潔凈控制等)。
4)設(shè)備的精度(動特性和熱穩(wěn)定性)。
5)綜合利用傳統(tǒng)的加工手段，加以復(fù)合，即采用復(fù)合加工。
綜合應(yīng)用各種 ，在各方面精益求精的條件下，才有可能突破常規(guī)技術(shù)達不到的精度界限，達到新的指標(biāo)。
鑄鐵平臺適用于各種 機械制造及檢驗室檢驗工作，測量用的基準(zhǔn)平面；用于機床機械檢驗測量基準(zhǔn)；檢查零件的尺寸精度或形為偏差，并作緊密劃線，在機械制造中也是 的基本工具。其中鑄鐵平板對精度要求較高，鉚焊平臺對精度要求低，實驗鑄鐵平板一般是 拼接使用，如果震動大的情況下還要和地面澆注在一起；研磨鑄鐵平板選用球鐵材質(zhì)，其精度和光潔度是 鑄鐵平板中要求高的。一般鑄鐵平板的使用壽命很長，只要采用正確的方法使用和保放，鑄鐵平板工作面的精度可以保持使用2年以上，鑄鐵平板精度降低時可以通過調(diào)試或刮研工藝恢復(fù)，鑄鐵平板本身的使用壽命可以達到50-100年，所以，在使用鑄鐵平板的過程中要注意不要在潮濕，有腐蝕、過高和過低的溫度環(huán)境下使用和存放，這樣才可以延長鑄鐵平板的使用壽命，工作質(zhì)量。
鑄鐵平板是 用于工件檢測或劃線的平面基準(zhǔn)器具。平臺安裝應(yīng)調(diào)至水平、負(fù)荷均勻分布于各支點上，環(huán)境溫度（20±5℃），使用時應(yīng)避免震動。如果調(diào)整溫度的過程中鑄鐵平板出現(xiàn)了熱脹冷縮的現(xiàn)象也不用擔(dān)心，這是 正?，F(xiàn)象，只要等一段時間，鑄鐵平板就能恢復(fù)，這種 現(xiàn)象也可以當(dāng)做鑄鐵平板對溫度的適應(yīng)階段。
適用于各種 檢驗工作，測量用的基準(zhǔn)平面，用于機床機械測量基準(zhǔn)，檢查零件的尺寸精度或形位偏差，并作劃線。在機械制造中也是 的基本工具。工作面應(yīng)采用刮削工藝，對于“3”級平臺工作面也可以采用刨削工藝，刨削工作表面的表面粗糙度按輪廓算術(shù)平均偏差Ra值應(yīng)不大于5μm。
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